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我国特种气体产能迈向世界第一

为半导体工业“造血造粮”

我国特种气体产能迈向世界第一

科技日报北京5月18日电(记者付毅飞)18日,位于河北省邯郸市肥乡区的中船重工718所新材料一期项目正式投产,二期项目开工建设。记者从该集团公司了解到,这标志着718所三氟化氮等特种气体产品向着产能世界第一迈出了坚实一步。

高纯电子特种气体被形容为半导体工业的”血液”和”粮食”,是大规模集成电路、多晶硅、太阳能、光纤等先进制造业的重要原材料,属于国家加快扶持发展的战略性新兴产业。然而早些年,相关产品被国外垄断,市场定价权掌握在国外厂商手中。

为破解垄断危机、抢抓市场机遇,718所于2000年组建特种气体工程部,自筹经费立项开展研究,于2009年成功开发出高纯三氟化氮。该产品被列入国家“重点新产品”及“火炬计划”,完全替代进口,成功应用在国内几乎所有半导体、液晶、太阳能行业,并出口美国、日本、法国、德国等国家。

面对喜人成绩,718所没有停止脚步,而是积极跟踪国际氟化工前沿技术,先后立项开展20多种高纯特种气体研发,自主开发出六氟化钨、氘气、三氟甲磺酸、等新产品,涉及核心关键技术40余项,获得发明专利授权18项,产品均处于国际先进水平。

718所所长李俊华介绍,目前该所已建成国内最大的三氟化氮、六氟化钨及三氟甲磺酸系列产品研发生产基地。其中三氟化氮国内市场覆盖率超过95%,国际市场覆盖率达30%;六氟化钨国内市场覆盖率达100%,国际市场覆盖率达40%。作为国家“02专项”气体组项目的牵头单位,该所已经成功研制出四氟化硅等9种高纯气体及10种混合气体,并成功进行了产业化,产品得到了中芯国际等半导体龙头企业的测试认证。

近两年,718所特种气体产业迅速壮大,年均增速达到30%。该所力争到2020年,实现年产高纯三氟化氮气体12000吨、高纯六氟化钨气体2000吨、其他特种气体3000吨。届时将实现高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、三氟甲磺酸以及高纯六氟丁二烯气体产能世界第一,成为世界知名的电子特种气体材料综合服务商。

责任编辑: 刘莉
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